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半導(dǎo)體氣體過濾器
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工藝氣體專用過濾器_高純UHP超純氣流微粒直通一體式過濾器

  • W型一體式過濾器.全焊接結(jié)構(gòu),杜絕泄露過濾面積大,流量系數(shù)高,.逆流時(shí),可完成沖洗過程.閥體和過濾元件全滲透焊接.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um.工作壓力可達(dá):414bar(6000psig).工作溫度:-28~+482℃
  • 產(chǎn)品詳情


TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。

其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無憂。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

W型一體式過濾器特點(diǎn):

.全焊接結(jié)構(gòu),杜絕泄露過濾面積大,流量系數(shù)高,

.逆流時(shí),可完成沖洗過程

.閥體和過濾元件全滲透焊接

.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um

.工作壓力可達(dá):414bar(6000psig)

.工作溫度:-28~+482°℃

產(chǎn)品參數(shù)

濾芯材質(zhì)316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體材質(zhì)316L不銹鋼
氦氣驗(yàn)證泄漏率2x10-10cc/min氦氣測(cè)試泄露率1x10-10cc/min
表面處理外表面Ra < 1.6μm最高使用溫度惰性氣體400-500°C
內(nèi)表面Ra < 0.2μm腐蝕性氣體,反應(yīng)氣體50°C
顆粒攔截效率99.9999999%(9LRV)@30slpm下游潔凈度0.03particles/liter
@>0.01um,30slpm
顆粒攔截粒徑≧0.003μm


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